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四象限光电探测器的信号处理算法

为束斑在四象限上的位置。图中四象限探测器光敏面的半径为R。四象限中心与直角坐标的零点O重合。图中四象限的对称轴分别与坐标的x、y轴重合。束斑中心为O?。当O?位于四象限中心时,四个象限上接收到的光信号强度相等,经计算处理后得到的误差信号为零。当O?逐渐偏离O时,Er逐渐增大。Ex、Ey分别代表Er在x、y方向上的分量。为消除束斑光强(光能量或功率)波动对Er的影响,通常要对Er进行归一化处理。即在Er计算过程中除以一个与散敬束斑光强度冲碧慎相关的量值。根据不同的应用目的,束斑半径r相对于四象限光敏区半径慧姿R存在一个最佳值ropt。对大多数应用场合ropt取1/2R。

四象限光电探测器的信号处理算法