微影芹袭悄(Lithography)技术是将光罩(Mask)上的主要图案先转移至感光材料上,利用光线透过光罩照射在感光材料上,再以溶剂浸泡将感光材料受光照射到的部份加以溶解或保留,如此所形成的光阻图案会和光罩完全相同或呈互补。由于微影制程的环境是采用黄光照明而非一般摄影暗房的红光,所以这一部份的制程常被简称为"黄光"。由于IC晶方内之图案均有赖光阻剂(Photoresist)覆禅拍盖在芯片上,再经曝光,显影而定型;而此光阻剂遇光线照嫌渣射,尤其是紫外线(UV)即有曝光之效果,因此在显影完毕以前之生产,均宜远离此类光源。黄光之光波较长,使光阻剂曝光之效果很低,因此乃作为显影前之照明光源。http://www.wshkingpcb.cn/qywh/ShowArticle.asp?ArticleID=5670http://www.shebei114.cn/info/detail/50-4669.html